超精密加工零件所能達(dá)到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范圍和幾何形狀是一個(gè)國(guó)家制造技術(shù)水平的重要標(biāo)志之一。超精密加工技術(shù)是尖端技術(shù)產(chǎn)品發(fā)展中不可缺少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。例如,關(guān)系到現(xiàn)代飛機(jī)、潛艇、導(dǎo)彈性能和命中率的慣導(dǎo)儀表的精密陀螺、激光核聚變用的反射鏡、大型天體望遠(yuǎn)鏡的反射鏡和多面棱鏡、大規(guī)模集成電路的硅片、計(jì)算機(jī)磁盤(pán)及復(fù)印機(jī)
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