光蝕刻產(chǎn)生的特征其位置公差一般在圖紙標(biāo)稱0.001英寸內(nèi)。蝕刻的尺寸公差為材料厚度和板材尺寸的函數(shù)。五金加工一般規(guī)律是，公差越大，板材尺寸就越大，零件成本就越低。

    　　可以實(shí)現(xiàn)的最小公差范圍為：對于小于0.010英寸的厚度，為材料厚度的±10%。對于厚度為0.010～0.020英寸的零件，公差范圍為±0.0015～±0.0025英寸。對于0.021～0.035英寸的厚度，最經(jīng)濟(jì)的公差為±0.005英寸。對于超出0.035英寸的厚度，尺寸公差帶將近似等于材料厚度的±20%。

    　　最小的孔或微型槽的尺寸，對于厚度在0.02英寸以內(nèi)的材料，精密零件加工必須至少為材料厚度的110% ;對于厚度超出0.020英寸的金屬，為材料厚度的120%?？谆虿壑g最薄的區(qū)域必須至少等于材料厚度。內(nèi)、外側(cè)半徑的最小尺寸等于材料厚度。